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什么是OLED显示技术的蒸镀?——真空蒸镀

这里蒸镀就是真空中通过电流加热,电子束轰击加热和激光加热等方法,使被蒸材料蒸发成原子或分子,它们随即以较大的自由程作直线运动,碰撞基片表面而凝结,形成薄膜。

真空蒸镀在OLED显示技术的应用和实现概述

主要应用于RGB(红绿蓝)三色排列的典型OLED屏幕。我们所知蒸镀是OLED制造工艺的精华部分,而且不仅是发光材料,金属电极等等之类也是这么蒸上去的。但实际操作还是非常复杂的,比如如何控制像素区域,像素要怎么对齐,还有控制蒸上去的薄膜厚度,什么前处理、蒸镀室的真空度等。

从OLED显示特性,我们知道它与LCD显示相比不同,其中一个重要区别就是OLED的自发光特性。就好比OLED屏拥有一个个会自己发光的红绿蓝 “灯泡”组成。我们可以通俗的比喻,通过蒸镀机把OLED屏幕每个像素“灯泡”蒸在ITO玻璃基板上。

OLED典型结构是在ITO玻璃上制作一层几十纳米厚的发光材料——也就是人们通常所说OLED屏幕像素自发光材料,发光层上方有一层金属电极,电极加电压,发光层产生光辐射;从阴阳两级分别注入电子和空穴,被注入的电子和空穴在有机层传输,并在发光层复合,激发发光层分子产生单态激子,单态激子辐射衰减发光。

当然了,具体到整块面板,结构也就复杂很多,包括次像素间需要隔离柱、绝缘层之类。AMOLED则还有TFTbackplane这种控制每个像素开关的东西。

因此,我们通俗比喻蒸镀过程,就是真空腔室内,把ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,然后放把火在下面烧坩埚(当然不是真的放把火),你看到的发光材料—红绿蓝三色灯泡(当然不是真的灯泡)就这么蒸上去了。

了解蒸镀在OLED的工艺流程中的环节

OLED按驱动方式主要分为:被动方式—PMOLED和主动方式—AMOLED。其中PMOLED结构相比AMOLED简单,在工艺流程大体相似,主要是PMOLED没有像AMOLED在屏幕中加装TFT和电容层。如下通过参考PMOLED工艺流程图了解OLED生产的蒸镀环节。

可折叠伸展式AMOLED蒸镀难点

AMOLED之所以受到重视,除了拥有自发光的特性以及鲜艳色彩之外,它可做成可挠曲的折叠伸展屏幕也是一个重要特点。但研究机构或是业界人士,都认为设备和技术是抢进AMOLED的厂商最容易碰到的问题,设备投资金额太大,回收不易;技术方面,主要是蒸镀与封装。

在蒸镀过程中,目前最广泛被使用的方式为精细金属光罩(FineMetalMask),主要问题就是FMM在大尺寸时会有弯曲下垂的问题,且画素有所限制。在高解析度状况下,目前则多使用Pentile解决光罩限制。

根据Displaysearch研究,综观目前5.5代线以及8代线,垂直扫描光罩(VerticalScanningMak)将是重要指标,韩国厂商正与设备商如火如荼进行中。垂直扫描在大尺寸面板蒸镀时可避开变形问题,而且不用切割是优势,但这个方法仍不完美,未来大尺寸的蒸镀应该还是要使用雷射或Injeck技术,韩厂当然不会错过研发机会,但真正可量产的时间仍不明。

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